1、洁净测试区空间尺寸为:长 6.5m*宽 6m*高 3m,机器人测试
安装基座尺寸为 1.8m*1.8m,基座底部由混凝土浇筑,抗冲击强度远
高于不锈钢高架地板,可承受 2t 以上的静态载荷和 1.5 倍的动态载
荷;洁净室门宽 2.2m,高 2m,提供叉车及安装服务。
2、洁净室提供单相 220V 或三相 380V 供电,可提供抽气泵;
3、洁净测试区域洁净等级为 ISO class2 及以上,垂直流风速可
达 0.3m/s,环境温度为 23±2℃,相对湿度 50-80% HR;以上参数可
提供第三方测试报告;
4、配备两套粒子采集系统,粒子采集器可检测 0.1um、0.3um、
0.5um、1um、5um 的粒径,可提供以上参数的第三方校准报告;
5、洁净测试标准 GB/T 25915.1-2021、ISO 14644-1:2015、GB/T
25915.14-2022、ISO 14644-14:2016 目前已获 CNAS 认可,可出具
CNAS 检测报告,同时可提供机器人洁净度等级认证证书;