产品描述：只需更换传感器组件，即可检测各种半导体材料气体
01.产品特点
· 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
· 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
· 可以大幅度削减成本和维护时间
02.产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.对象气体
| 型号 |
气体 |
满量程 |
| XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
| XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
| XDS-7DC |
SiH2Cl2 |
25ppm |
| XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
| XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
| XDS-7BH |
B2H6 |
500ppb |
| XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
| XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
| XDS-7CL |
Cl2 |
5ppm |
| XDS-7CF |
ClF3 |
1ppm |
| XDS-7HC |
HCl |
25ppm |
| XDS-7HF |
HF |
10ppm |
| XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
| XDS-7NO |
NO |
100ppm |
| XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
| XDS-7CO |
CO |
250ppm |
| XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
| XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
| XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
| XDS-7SD |
SO2 |
10ppm |
| XDS-7ND |
NO2 |
10ppm |
| XDS-7NF |
NF3 |
100ppm |
04.产品参数
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