測量步驟

1.點擊XY復位，使得鏡頭復位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；3.確認電機連接狀態和環境噪聲狀態滿足測量條件；4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度，找到干涉條紋；5.設置好掃描方式和掃描范圍；6.點擊選項圖標，確認自動找條紋上下限無誤；7.點擊多區域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區域形狀；9.根據被測物形狀和尺寸，"形狀"欄選擇“橢圓平面"，X和Y方向按需設置；10.點擊彈出框右下角的“開始"圖標，儀器即自動完成多個區域的對焦、找條紋、掃面等操作。

中圖儀器非接觸光學表面3d輪廓儀是一款專用于超精密加工領域的光學檢測儀器，其分辨率可達0.1nm。以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

技術參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋：更多詳細產品信息，請聯系我們獲取

非接觸光學表面3d輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。