检测对象

更换传感器，能够检测各种气体

检测范围

根据规格而定

检测原理

根据规格而定

检测方式

泵吸引式

应用行业

石油化工、半导体制造等

产品描述：通过更换传感器单元可以检测多种气体

可通过PDA读取数据

01.产品特点

●  通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器

●  传感器经过校准和交付，无需现场气体校准。此外，无需工具即可轻松更换传感器

●  小巧·轻便的设计

●  通过LCD显示屏轻松了解气体浓度，报警状态和错误信息

●  采样流量的自动控制功能

●  当插入与设置不同的传感器时，传感器具有防止错误插入的功能

●  通过连接PDA，可以获取存储在检测单元中的数据

●  转换器单元（选件）可用于检测NF₃和CCl₂

●  符合CE标准

●  符合SEMI标准

02.连接方式

03.产品参数

04.对应气体一览表

05.可连接报警器

●  UV-810（多点检测）

●  V3系列（面板嵌入式）

●  NV-100M（单点检测）