SMC电缸
采用直线电机，使搬运、推送和长度测量系统小型化。
厚度：9mm，质量：130g（行程10mm时）。
***大推力：6N。
重复定位精度：±5μm。
推进测长精度：±10μm。
***高使用频率：500cpm。

列	行程（mm）	传感器 （光学式直线 编码器）分辨率	推进 瞬时***大推力	重复 定位 精度	推进 测长 精度	***高速度
LAT3F	10, 20, 30, 50	1.25μm	～6N	±5μm	±10μm	400mm/s
LAT3M	50	5μm	～6N	±20μm	±40μm	400mm/s
LAT3	10, 20, 30	30μm	～6N	±90μm	±100μm	400mm/s