高精度控制：精度0.13kPa(1mmHg),可以进行反复再现性0.13kPa(±1mmHg)以内的高精度控制。
优异的压力特性：针对进口压力的变化设定压力的变化控制在1.3kPa（10mmHg）以内。
大流量型号：流量可以达到270L/min(normal),大流量的用途可以对应。
良好的应答性：针对出口压力的变化可以敏感的应答。
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规 格
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项目
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RVS－1－2
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RV－1－2
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RV－1－3
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使用流体
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空气(真空)
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压力设定范围 kPa
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-1.3 ～ -100（ 10 ～ 750 ）
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灵敏度 kPa
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13.3（0.1）
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反复再现性 kPa
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±0.13（±1）以内
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使用温度范围 ℃
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5～60
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流量 l/min(normal)
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200
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270
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配管连接口径 Rc（PT）
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1／4
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3／8
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托架
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标准装备
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质量 kgf
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0.5
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0.65
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FCS-63-78/FCS-80-62/ FCS-50-64/ FCS-20-22/ FCS-16-16/ FCS-40-48/ FCD-80-108/ FCD-80-62/ FCD-63-78/ FCD-40-24/ FCD-25-26/ FCD-31.5-24/ FCD-31.5-35/ FCD-50-64/ FCD-50-36/SCS-63-78/SCS-63-42/SCS-50-64/SCSA-63-78/SCD-63-78/SCS-80-108/SCD-63-42/RT.I/P-8-2/ RT.E/P-8-2/ RE-8-2/ TS-30-5-S1/ PCD-40-10/ RP-7-2 / RP-4-2/ RS-8-2/ RS.hr-8-3/ PCS-20-10/ TS-20-3-S1/ RV.S-1-2
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