NS系列机器人
经典水平多关节手臂
NS系列无尘机器人以其长期现场使用证明其具有300mm晶圆搬运所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操纵器运动功能,具有线性轴的可选长度,以实现额外的FOUP伸展范围。
SEMI F47合规NS型号可以瞬时响应电波动,如电压下降,并且在电压恢复时自动恢复运行。SEMI S2合规NS型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。碰撞检测软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能,以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。翻转夹持轴NS411型号有一个附加轴,用于在水平和垂直角度搬运晶圆。悬挂式安装NS511型号具有吊装规格设计,用于在化学液体环境中使用,同时满足ISO 5级的要求。
NS系列的规格
型号 |
NS410 |
NS411 |
NS420 |
NS510 |
NS511 |
构造 |
水平多关节型 |
自由度 |
3 轴 |
4 轴 |
4 轴 |
3 轴 |
4 轴 |
运动范围 |
Y 轴
(行进JT1) |
2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm
4 FOUP: 1,670 mm |
- |
- |
θ 轴
(旋转JT2) |
380° |
325° |
325° |
360° |
473° |
Z 轴
(上下JT3) |
380 mm |
380 mm |
380 mm |
440 mm |
440 mm |
X 轴
(上下JT4) |
710 mm |
798 mm |
X1: 646.8 mm
X2: 646.8 mm |
598 mm |
816.5 mm |
F 轴
(旋转JT5) |
- |
156° |
- |
- |
200° |
重复性 |
± 0.1 mm (晶圆中心) |
无尘度*1 |
ISO 2级 |
ISO 5级 |
控制柜 |
D60/D61 (规格见无尘控制柜) |