NX系列无尘机器人被设计为与两个或三个300mm的FOUP配合使用，而不需要使用轨道。NX系列在设计上与NS系列类似，但是附加的独立轴更换了RTZ动作设计，显著增加了NX的运动范围。

卓越的伸展距离

单个的NX系列手臂可以达到2或3个FOUP而不需要线性轴。该手臂被设计为高刚性，以及可以利用窄间距访问晶圆台以及FOUP中的任意位置。

高吞吐量

NX系列实现了利用双臂机械手，如NX520，从FOUP到校准器然后到平台200晶圆每小时（WPH）的吞吐量。

SEMI F47合规

NX型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。

SEMI S2合规

NX型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。

碰撞检测

软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。