TT系列机器人
长伸展距离伸缩手臂
NT系列的所有功能都被运用到TT系列,包括访问多达四个FOUP的能力。TT系列的设计采用了NT系列水平多关节型手臂带有高刚性伸缩基座的设计,提供高低位置的高速搬运。
卓越的伸展距离单个的TT系列手臂可以伸展到四个FOUP。伸缩手臂提供了附加的灵活性,可以伸展到FOUP并在高低位置处理设备。高吞吐量TT系列机器人利用NT系统手臂的带有双重抓手的高速设计,实现了高吞吐量。SEMI F47合规TT型号可以瞬时响应电波动,如电压下降,并且在电压恢复时自动恢复运行。SEMI S2合规TT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。碰撞检测软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能,以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。
TT系列机器人规格
型号 |
TT220 |
构造 |
伸缩水平多关节型 |
自由度 |
5 轴 |
运动范围 |
θ 轴 (旋转JT2) |
340° |
Z 轴 (上下JT3) |
740 mm |
θ 轴 (旋转JT4) |
340° |
H1 轴 (旋转JT6) |
340° (380°)*2 |
H2 轴 (旋转JT7) |
340° (380°)*2 |
*大伸展距离 |
1,230 mm |
重复性 |
±0.1 mm (晶圆中心) |
无尘度*1 |
ISO 1级 |
控制柜 |
D60/D61 (规格见无尘控制柜) |