SJ6000激光干涉儀采用高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術，實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光輸出；采用高精度環境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量；結合相應鏡組還能實現角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量，并進行動態分析。
SJ6000激光干涉儀性能特點：
1.測量精度高、速度快，穩定性好
①使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。
④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析
③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。
SJ6000激光干涉儀功能：
SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉軸等參數的精密測量，并能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態性能分析。
在相關軟件的配合下，可自動生成誤差補償方案，為設備誤差修正提供依據。
SJ6000激光干涉儀技術參數：
系統性能
² 測量方式：單頻
² 穩頻精度：0.05ppm
² 動態采集頻率：50 kHz
² 預熱時間：約6分鐘
² 工作溫度范圍：(0~40)℃
² 環境溫度范圍：(0~40)℃，環境濕度：(0~95)%RH
² 存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環境補償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95) %RH
² 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
² 測量距離：(0~40)m
² 測量精度：0.5ppm (0~40)℃
² 測量分辨力：1nm
² 測量*大速度：4m/s
角度測量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測量范圍：±10°
² 測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)
² 測量分辨力：0.1″
平面度測量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測量范圍：±1.5 mm
² 測量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
² 基板尺寸：180mm可調，360mm可調
測量分辨力：0.1μm
直線度測量
² 軸向量程：(0.1~4.0)m
² 測量范圍：±3mm
² 測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
² 測量分辨力：0.01μm
垂直度測量
² 軸向量程：(0.1~3.0)m
測量范圍：±3mm
² 測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
² 測量分辨力：0.01μm/m
回轉軸精度測量
² 角度測量范圍：(0~360)°
² 測量精度：±1″
*高轉速：10rpm
鋰電池供電，藍牙傳輸數據。
SJ6000激光干涉儀配置清單：
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序號
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名稱
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明細
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備注
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1
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SJ6000主機
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1臺，配云臺
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標配
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2
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環境補償單元
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1套，配1個空氣溫度探頭和3個材料溫度探頭
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標配
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3
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筆記本電腦
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1臺，配測量軟件
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標配
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4
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便攜式拉桿箱
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1個，尺寸：560mm×460mm×270mm
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標配
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5
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通用三腳架
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1個
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標配
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6
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線性鏡組
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線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個
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標配
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7
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鏡組安裝配件
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磁性座2個
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標配
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安裝柱4節
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輔助安裝塊2塊
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夾緊塊2個(帶鎖緊螺絲)
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測頭夾具1個(內徑：φ32mm)
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選配
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8
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輕型線性附件
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小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個
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選配
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9
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遠距離線性附件
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大角錐反射鏡、遠距離分光鏡，各1個
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選配
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10
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可調轉向鏡
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可調轉向鏡1個
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選配
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11
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角度鏡組
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角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個
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選配
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12
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平面度鏡組
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平面度鏡組需要與角度鏡組組合使用
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選配
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平面度反射鏡2個
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180mm可調基板、360mm可調基板，各1個
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13
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直線度鏡組
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直線度干涉鏡、直線度反射鏡，各1個
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選配
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直線度附件1套
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14
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垂直度鏡組
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垂直度鏡組需要與直線度鏡組組合使用
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選配
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光學直角尺、垂直度安裝三腳架，各1個
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15
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高精密轉臺
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鋰電池供電，藍牙傳輸
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選配
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16
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工作服
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夏、冬實驗室工作服各1件
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選配
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