国产激光干涉仪（SJ6000）采用高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量，并进行动态分析。

国产激光干涉仪（SJ6000）工作原理：
激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。



国产激光干涉仪（SJ6000）技术参数：

      系统性能

²    测量方式：单频

²    稳频精度：0.05ppm

²    动态采集频率：50 kHz

²    预热时间：约6分钟

²    工作温度范围：(0~40)℃

²    环境温度范围：(0~40)℃，环境湿度：(0~95)%RH

²    存储温度范围：(-20~70)℃

      环境补偿示值误差

²    空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    空气湿度传感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大气压力传感器：±0.1kPa

      线性测量

²    测量距离：(0~40)m

²    测量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    测量分辨力：1nm

²    测量*大速度：4m/s

      角度测量

²    轴向量程：(0~15)m

²    测量范围：±10°

²    测量精度：±(0.04%R)″ (R为显示值，单位：″)

²    测量分辨力：0.1″

      平面度测量

²    轴向量程：(0~15)m

²    测量范围：±1.5 mm

²    测量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

²    基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm

      直线度测量

²    轴向量程：(0.1~4.0)m

²    测量范围：±3mm

²    测量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

²    测量分辨力：0.01μm

      垂直度测量

²    轴向量程：(0.1~3.0)m

测量范围：±3mm

²    测量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

²    测量分辨力：0.01μm/m

      回转轴精度测量

²    角度测量范围：(0~360)°

²    测量精度：±1″

*高转速：10rpm

锂电池供电，蓝牙传输数据。